集成化音圈模組設(shè)計(jì)，包含音圈電機(jī)動(dòng)定子、導(dǎo)軌、光柵尺反饋系統(tǒng)及載臺(tái)，即裝即用

性能特點(diǎn)：

系模塊化設(shè)計(jì), 應(yīng)用了圓柱形音圈電機(jī)

單重線導(dǎo)軌或滑軌系統(tǒng)

行程可從15mm到30mm

直接驅(qū)動(dòng),無背隙和無嵌齒效應(yīng)

模塊的設(shè)計(jì)配備編碼器

編碼器的高分辨率有1.0um或0.1um

反應(yīng)快,帶寬高