XRV 交叉滾柱音圈模組系列系列，包含音圈電機(jī)動(dòng)定子、十字交叉滾柱導(dǎo)軌、光柵尺反饋系統(tǒng)及載臺(tái)，

即裝即用，占用空間小適用于高剛性、高精度、高平面度及直線度的場(chǎng)合

性能特點(diǎn)：

模塊化設(shè)計(jì), 應(yīng)用了直線音圈電機(jī)

雙重精密線型交叉滾柱導(dǎo)軌

行程可達(dá)20mm

模塊的設(shè)計(jì)配備編碼器

編碼器的高分辨率有0.1um, 20nm或5nm

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應(yīng)用領(lǐng)域：

半導(dǎo)體、光學(xué)電子、食品制藥、組裝包裝

汽車(chē)生產(chǎn)檢測(cè)、生物生化檢測(cè)取樣、自動(dòng)化測(cè)試

高速掃描，數(shù)碼影像系統(tǒng)

高效的焊接、貼片、組裝、測(cè)試與檢測(cè)設(shè)備

光學(xué)元件的搬運(yùn)與檢測(cè)，各種精密而高速運(yùn)動(dòng)設(shè)備